VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
Beryllium:  Be(1s), BE Cu(2p3) = 932.65 eV
1
0.05 eV/step, sum of 14 etch/scans
NORM
REGULAR
1
0
0
0
0
0
1
0.05 eV/step, sum of 14 etch/scans
Beryllium:  Be(1s), BE Cu(2p3) = 932.65 eV
2003
4
25
22
15
18
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
54.96
1
0
0
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
40
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.05
30
4.00E-06
0
0
0
0
2002
0
400
0.0988127
0.10275
142
0.10275
130
0.102746
123
0.102742
97
0.102738
121
0.102734
128
0.10273
110
0.102726
143
0.102722
146
0.102718
116
0.102714
143
0.10271
126
0.102706
110
0.102701
116
0.102697
143
0.102693
114
0.102689
118
0.102685
145
0.102681
130
0.102677
89
0.102673
97
0.102669
115
0.102665
115
0.102661
130
0.102657
116
0.102653
131
0.102648
112
0.102644
114
0.10264
114
0.102636
126
0.102632
107
0.102628
125
0.102624
128
0.10262
129
0.102616
151
0.102612
125
0.102608
111
0.102604
118
0.1026
148
0.102595
123
0.102591
126
0.102587
128
0.102583
116
0.102579
95
0.102575
107
0.102571
121
0.102567
128
0.102563
126
0.102559
164
0.102555
113
0.102551
127
0.102547
100
0.102543
122
0.102538
86
0.102534
126
0.10253
115
0.102526
106
0.102522
108
0.102518
131
0.102514
120
0.10251
123
0.102506
110
0.102502
107
0.102498
112
0.102494
145
0.10249
126
0.102486
109
0.102482
116
0.102477
126
0.102473
147
0.102469
110
0.102465
123
0.102461
132
0.102457
122
0.102453
134
0.102449
124
0.102445
140
0.102441
103
0.102437
127
0.102433
127
0.102429
106
0.102425
138
0.102421
144
0.102417
138
0.102413
109
0.102408
110
0.102404
129
0.1024
108
0.102396
115
0.102392
123
0.102388
142
0.102384
122
0.10238
117
0.102376
114
0.102372
110
0.102368
128
0.102364
135
0.10236
110
0.102356
107
0.102352
109
0.102348
134
0.102344
128
0.102339
144
0.102335
127
0.102331
119
0.102327
142
0.102323
134
0.102319
108
0.102315
119
0.102311
112
0.102307
135
0.102303
116
0.102299
117
0.102295
130
0.102291
118
0.102287
126
0.102283
136
0.102279
157
0.102275
112
0.102271
125
0.102267
109
0.102263
133
0.102258
101
0.102254
138
0.10225
109
0.102246
148
0.102242
132
0.102238
107
0.102234
143
0.10223
125
0.102226
124
0.102222
112
0.102218
132
0.102214
142
0.10221
117
0.102206
134
0.102202
124
0.102198
127
0.102194
123
0.10219
131
0.102186
169
0.102182
135
0.102178
125
0.102174
118
0.10217
130
0.102165
122
0.102161
144
0.102157
137
0.102153
160
0.102149
158
0.102145
128
0.102141
164
0.102137
125
0.102133
149
0.102129
117
0.102125
126
0.102121
143
0.102117
167
0.102113
155
0.102109
137
0.102105
135
0.102101
117
0.102097
115
0.102093
117
0.102089
116
0.102085
119
0.102081
172
0.102077
150
0.102073
122
0.102069
133
0.102065
143
0.102061
148
0.102056
135
0.102052
120
0.102048
114
0.102044
132
0.10204
159
0.102036
125
0.102032
111
0.102028
134
0.102024
128
0.10202
126
0.102016
152
0.102012
117
0.102008
116
0.102004
110
0.102
136
0.101996
118
0.101992
103
0.101988
114
0.101984
136
0.10198
117
0.101976
112
0.101972
101
0.101968
121
0.101964
119
0.10196
115
0.101956
151
0.101952
138
0.101948
106
0.101944
118
0.10194
113
0.101936
120
0.101932
119
0.101928
117
0.101924
143
0.10192
138
0.101916
147
0.101911
151
0.101907
136
0.101903
108
0.101899
159
0.101895
130
0.101891
141
0.101887
125
0.101883
117
0.101879
150
0.101875
150
0.101871
140
0.101867
144
0.101863
120
0.101859
145
0.101855
114
0.101851
129
0.101847
157
0.101843
158
0.101839
148
0.101835
141
0.101831
153
0.101827
105
0.101823
130
0.101819
127
0.101815
107
0.101811
152
0.101807
122
0.101803
136
0.101799
140
0.101795
127
0.101791
121
0.101787
121
0.101783
153
0.101779
114
0.101775
122
0.101771
153
0.101767
159
0.101763
131
0.101759
132
0.101755
167
0.101751
146
0.101747
125
0.101743
141
0.101739
163
0.101735
147
0.101731
142
0.101727
136
0.101723
130
0.101719
137
0.101715
133
0.101711
132
0.101707
163
0.101703
124
0.101699
140
0.101695
122
0.101691
153
0.101687
134
0.101683
142
0.101679
151
0.101675
144
0.101671
134
0.101667
115
0.101663
143
0.101659
156
0.101655
129
0.101651
152
0.101647
140
0.101643
160
0.101639
174
0.101635
151
0.101631
149
0.101627
156
0.101623
149
0.101619
136
0.101615
113
0.101611
114
0.101607
144
0.101603
144
0.101599
145
0.101595
143
0.101591
169
0.101587
158
0.101583
144
0.101579
154
0.101575
169
0.101571
154
0.101567
145
0.101563
157
0.101559
150
0.101555
147
0.101551
146
0.101547
126
0.101543
154
0.101539
164
0.101535
167
0.101531
134
0.101527
156
0.101523
153
0.101519
137
0.101515
153
0.101511
183
0.101507
177
0.101503
147
0.101499
175
0.101495
174
0.101491
137
0.101487
185
0.101483
149
0.101479
179
0.101475
191
0.101471
166
0.101467
205
0.101463
193
0.101459
162
0.101455
157
0.101451
171
0.101447
179
0.101443
192
0.101439
197
0.101435
211
0.101431
209
0.101427
209
0.101423
225
0.101419
265
0.101415
280
0.101411
228
0.101407
303
0.101403
297
0.101399
338
0.101395
287
0.101391
347
0.101387
333
0.101383
370
0.101379
366
0.101375
386
0.101371
398
0.101367
358
0.101363
354
0.101359
393
0.101355
340
0.101351
390
0.101347
370
0.101343
342
0.101339
389
0.101335
346
0.101331
378
0.101327
350
0.101323
315
0.101319
350
0.101315
285
0.101312
275
0.101308
230
0.101304
234
0.1013
264
0.101296
244
0.101292
228
0.101288
160
0.101284
167
0.10128
178
0.101276
161
0.101272
112
0.101268
126
0.101264
130
0.10126
114
0.101256
116
0.101252
84
0.101248
133
0.101244
104
0.10124
103
0.101236
103
0.101232
106
0.101228
78
0.101224
106
0.10122
81
0.101216
70
0.101212
86
0.101208
76
0.101204
96
0.1012
80
0.101196
66
0.101192
85
0.101188
88
0.101184
68
0.10118
77
0.101176
74
0.101172
61
0.101168
77
0.101165
93
0.101161
85
0.101157
85
0.101153
95
0.101149
71
0.101145
65
0.101141
54
0.101137
55
0.101133
70
0.101129
90
0.101125
69
0.101121
70
0.101117
63
0.101113
67
0.101109
68
0.101105
83
0.101101
88
0.101097
68
0.101093
83
0.101089
84
0.101085
82
0.101081
71
0.101077
67
0.101073
87
0.101069
64
0.101065
90
0.101061
59
0.101058
78
0.101054
81
0.10105
72
0.101046
72
0.101042
69
0.101038
86
0.101034
49
0.10103
93
0.101026
79
0.101022
56
0.101018
82
0.101014
66
0.10101
67
0.101006
62
0.101002
63
0.100998
65
0.100994
60
0.10099
66
0.100986
60
0.100982
64
0.100978
72
0.100974
73
0.10097
61
0.100967
79
0.100963
68
0.100959
56
0.100955
60
0.100951
62
0.100947
61
0.100943
66
0.100939
66
0.100935
65
0.100931
60
0.100927
57
0.100923
65
0.100919
72
0.100915
80
0.100911
54
0.100907
51
0.100903
49
0.100899
57
0.100895
54
0.100891
46
0.100888
71
0.100884
50
0.10088
62
0.100876
33
0.100872
63
0.100868
52
0.100864
47
0.10086
58
0.100856
80
0.100852
68
0.100848
50
0.100844
49
0.10084
53
0.100836
31
0.100832
56
0.100828
45
0.100824
48
0.10082
48
0.100817
42
0.100813
38
0.100809
52
0.100805
57
0.100801
37
0.100797
71
0.100793
40
0.100789
41
0.100785
34
0.100781
56
0.100777
58
0.100773
51
0.100769
40
0.100765
45
0.100761
42
0.100757
49
0.100754
47
0.10075
68
0.100746
41
0.100742
28
0.100738
61
0.100734
51
0.10073
56
0.100726
33
0.100722
37
0.100718
58
0.100714
39
0.10071
59
0.100706
39
0.100702
50
0.100698
56
0.100694
61
0.100691
38
0.100687
52
0.100683
50
0.100679
34
0.100675
44
0.100671
56
0.100667
41
0.100663
57
0.100659
46
0.100655
50
0.100651
50
0.100647
40
0.100643
55
0.100639
42
0.100636
46
0.100632
47
0.100628
40
0.100624
39
0.10062
41
0.100616
58
0.100612
34
0.100608
49
0.100604
58
0.1006
47
0.100596
36
0.100592
55
0.100588
40
0.100584
50
0.100581
49
0.100577
55
0.100573
54
0.100569
38
0.100565
58
0.100561
43
0.100557
42
0.100553
55
0.100549
50
0.100545
49
0.100541
66
0.100537
61
0.100533
46
0.10053
53
0.100526
62
0.100522
65
0.100518
58
0.100514
65
0.10051
70
0.100506
73
0.100502
71
0.100498
62
0.100494
73
0.10049
79
0.100486
69
0.100483
86
0.100479
78
0.100475
103
0.100471
93
0.100467
101
0.100463
108
0.100459
117
0.100455
106
0.100451
131
0.100447
140
0.100443
145
0.100439
162
0.100436
145
0.100432
172
0.100428
170
0.100424
184
0.10042
173
0.100416
190
0.100412
177
0.100408
193
0.100404
210
0.1004
210
0.100396
214
0.100393
217
0.100389
254
0.100385
232
0.100381
223
0.100377
276
0.100373
259
0.100369
264
0.100365
288
0.100361
266
0.100357
266
0.100353
268
0.10035
309
0.100346
274
0.100342
298
0.100338
318
0.100334
280
0.10033
305
0.100326
321
0.100322
309
0.100318
322
0.100314
333
0.10031
319
0.100307
340
0.100303
344
0.100299
338
0.100295
368
0.100291
345
0.100287
366
0.100283
380
0.100279
377
0.100275
379
0.100271
369
0.100268
400
0.100264
364
0.10026
368
0.100256
348
0.100252
356
0.100248
359
0.100244
334
0.10024
390
0.100236
350
0.100232
370
0.100229
325
0.100225
275
0.100221
277
0.100217
209
0.100213
254
0.100209
272
0.100205
183
0.100201
197
0.100197
186
0.100193
187
0.10019
157
0.100186
149
0.100182
143
0.100178
124
0.100174
132
0.10017
102
0.100166
111
0.100162
103
0.100158
86
0.100154
116
0.100151
80
0.100147
121
0.100143
96
0.100139
83
0.100135
72
0.100131
79
0.100127
74
0.100123
68
0.100119
94
0.100116
89
0.100112
74
0.100108
87
0.100104
81
0.1001
74
0.100096
60
0.100092
64
0.100088
59
0.100084
59
0.100081
87
0.100077
78
0.100073
77
0.100069
55
0.100065
73
0.100061
76
0.100057
63
0.100053
76
0.100049
53
0.100046
66
0.100042
77
0.100038
55
0.100034
54
0.10003
69
0.100026
61
0.100022
57
0.100018
67
0.100015
66
0.100011
62
0.100007
46
0.100003
59
0.099999
59
0.0999951
49
0.0999912
39
0.0999873
71
0.0999835
51
0.0999796
82
0.0999757
60
0.0999718
75
0.0999679
58
0.0999641
60
0.0999602
44
0.0999563
44
0.0999524
72
0.0999485
74
0.0999447
61
0.0999408
61
0.0999369
51
0.099933
40
0.0999292
52
0.0999253
75
0.0999214
62
0.0999175
35
0.0999136
46
0.0999098
35
0.0999059
60
0.099902
50
0.0998981
60
0.0998943
41
0.0998904
49
0.0998865
52
0.0998827
35
0.0998788
34
0.0998749
58
0.099871
31
0.0998672
42
0.0998633
47
0.0998594
50
0.0998555
46
0.0998517
49
0.0998478
44
0.0998439
40
0.0998401
48
0.0998362
25
0.0998323
56
0.0998284
36
0.0998246
42
0.0998207
41
0.0998168
34
0.099813
32
0.0998091
37
0.0998052
50
0.0998014
25
0.0997975
58
0.0997936
40
0.0997898
52
0.0997859
39
0.099782
56
0.0997782
39
0.0997743
30
0.0997704
36
0.0997666
54
0.0997627
31
0.0997588
38
0.099755
55
0.0997511
44
0.0997472
27
0.0997434
36
0.0997395
40
0.0997357
35
0.0997318
40
0.0997279
31
0.0997241
33
0.0997202
39
0.0997163
31
0.0997125
20
0.0997086
31
0.0997048
34
0.0997009
31
0.099697
42
0.0996932
33
0.0996893
32
0.0996855
28
0.0996816
23
0.0996777
23
0.0996739
34
0.09967
20
0.0996662
34
0.0996623
25
0.0996585
19
0.0996546
22
0.0996507
22
0.0996469
28
0.099643
18
0.0996392
19
0.0996353
24
0.0996315
26
0.0996276
23
0.0996237
31
0.0996199
24
0.099616
29
0.0996122
26
0.0996083
13
0.0996045
28
0.0996006
12
0.0995968
5
0.0995929
18
0.0995891
11
0.0995852
19
0.0995814
16
0.0995775
17
0.0995737
6
0.0995698
7
0.099566
14
0.0995621
7
0.0995583
9
0.0995544
9
0.0995506
9
0.0995467
10
0.0995429
7
0.099539
8
0.0995352
5
0.0995313
5
0.0995275
9
0.0995236
9
0.0995198
8
0.0995159
8
0.0995121
6
0.0995082
2
0.0995044
1
0.0995005
9
0.0994967
2
0.0994928
7
0.099489
11
0.0994851
10
0.0994813
2
0.0994775
10
0.0994736
8
0.0994698
8
0.0994659
2
0.0994621
4
0.0994582
7
0.0994544
10
0.0994506
5
0.0994467
15
0.0994429
13
0.099439
7
0.0994352
4
0.0994313
11
0.0994275
8
0.0994237
11
0.0994198
9
0.099416
6
0.0994121
14
0.0994083
11
0.0994045
4
0.0994006
5
0.0993968
10
0.099393
7
0.0993891
14
0.0993853
9
0.0993814
17
0.0993776
8
0.0993738
12
0.0993699
3
0.0993661
5
0.0993623
5
0.0993584
14
0.0993546
15
0.0993507
9
0.0993469
9
0.0993431
5
0.0993392
9
0.0993354
11
0.0993316
7
0.0993277
0
0.0993239
9
0.0993201
8
0.0993162
15
0.0993124
9
0.0993086
6
0.0993047
3
0.0993009
8
0.0992971
8
0.0992933
6
0.0992894
9
0.0992856
9
0.0992818
2
0.0992779
4
0.0992741
10
0.0992703
7
0.0992664
4
0.0992626
7
0.0992588
10
0.099255
3
0.0992511
8
0.0992473
5
0.0992435
9
0.0992396
11
0.0992358
9
0.099232
9
0.0992282
1
0.0992243
12
0.0992205
1
0.0992167
12
0.0992129
14
0.099209
8
0.0992052
5
0.0992014
14
0.0991976
7
0.0991937
16
0.0991899
5
0.0991861
4
0.0991823
11
0.0991784
7
0.0991746
15
0.0991708
14
0.099167
5
0.0991632
14
0.0991593
5
0.0991555
16
0.0991517
4
0.0991479
7
0.0991441
7
0.0991402
13
0.0991364
13
0.0991326
13
0.0991288
5
0.099125
6
0.0991211
10
0.0991173
5
0.0991135
16
0.0991097
5
0.0991059
5
0.099102
11
0.0990982
21
0.0990944
10
0.0990906
12
0.0990868
10
0.099083
7
0.0990791
2
0.0990753
7
0.0990715
6
0.0990677
8
0.0990639
8
0.0990601
16
0.0990563
2
0.0990524
7
0.0990486
8
0.0990448
3
0.099041
5
0.0990372
7
0.0990334
7
0.0990296
7
0.0990258
5
0.0990219
9
0.0990181
5
0.0990143
8
0.0990105
7
0.0990067
10
0.0990029
13
0.0989991
7
0.0989953
11
0.0989915
10
0.0989877
5
0.0989838
8
0.09898
9
0.0989762
14
0.0989724
6
0.0989686
6
0.0989648
6
0.098961
5
0.0989572
9
0.0989534
7
0.0989496
11
0.0989458
8
0.098942
10
0.0989382
13
0.0989344
6
0.0989305
3
0.0989267
4
0.0989229
6
0.0989191
8
0.0989153
7
0.0989115
11
0.0989077
8
0.0989039
10
0.0989001
5
0.0988963
7
0.0988925
9
0.0988887
15
0.0988849
9
0.0988811
8
0.0988773
9
0.0988735
6
0.0988697
4
0.0988659
6
0.0988621
8
0.0988583
15
0.0988545
8
0.0988507
6
0.0988469
5
0.0988431
6
0.0988393
4
0.0988355
8
0.0988317
7
0.0988279
3
0.0988241
3
0.0988203
6
0.0988165
4
0.0988127
end of experiment
